本標準規(guī)定了硅單晶退火片（以下簡稱退火片）的分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。
本標準適用于通過退火工藝在硅單晶拋光片表面形成一定寬度潔凈區(qū)的硅片，產(chǎn)品用于技術(shù)代180nm～22nm的集成電路。