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本部分適用于半導(dǎo)體壓力傳感器,它等同采用IEC 60747-14-3:2001《半導(dǎo)體器件 第14-3部分:半導(dǎo)體傳感器--壓力傳感器》。本部分規(guī)定了測量絕壓、表壓和差壓的半導(dǎo)體傳感器的要求。