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壓電器件用五氧化二鉭薄膜規(guī)范

標 準 號： SJ 20518-1995
替代情況：
發(fā)布單位： 電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部第十一研究所、標準化研究所
發(fā)布日期： 1995-05-25
實施日期： 1995-12-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年11月20日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范規(guī)定了五氧化二鉭（Ta2O5）壓電晶體膜的要求，質(zhì)量保證規(guī)定和檢驗方法。


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