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集成電路用石英舟

標 準 號： JC/T 2372-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 上海強華石英有限公司
發(fā)布日期： 2016-07-11
實施日期： 2017-01-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年04月18日
內容摘要

本標準規(guī)定了集成電路用石英舟的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、標志、清洗、包裝、運輸和貯存。本標準適用于集成電路制造工藝用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及臥式石英舟。 　 　

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