本標準規(guī)定了摻硼、摻磷、摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度之間的換算關(guān)系，該換算關(guān)系也適用于摻銻硅單晶，還可擴展至硅中激活能與硼、磷相似的其他摻雜劑。
本標準適用于摻硼濃度1014 cm-3～1×1020cm-3，摻磷濃度3×1013 cm-3～1×1020 cm-3，摻砷濃度1019 cm-3～6×1020cm-3。對摻硼、摻磷的硅單晶摻雜劑濃度可擴展到1012cm-3。
本標準也可用于在23℃下從硅單晶電阻率到載流子濃度的換算，但不包括對砷摻雜劑的載流子濃度換算，或任何其他載流子濃度的換算。
