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納米技術(shù) 光柵的描述、測(cè)量和尺寸質(zhì)量參數(shù)

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/Z 43684-2024
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位:
發(fā)布日期: 2024-03-15
實(shí)施日期: 2024-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2024年05月20日
內(nèi)容摘要

本文件界定了以光柵特征與標(biāo)稱位置偏差來(lái)解釋光柵的全局和局部質(zhì)量參數(shù)的通用術(shù)語(yǔ),并提供了測(cè)定參數(shù)所用的測(cè)量與評(píng)價(jià)方法分類的指南,以及在納米技術(shù)的不同應(yīng)用領(lǐng)域保證生產(chǎn)和使用光柵質(zhì)量的指南。


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