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納米技術(shù) 亞納米厚度石墨烯薄膜載流子遷移率及方塊電阻測(cè)量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 43682-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 泰州巨納新能源有限公司、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
發(fā)布日期： 2024-03-15
實(shí)施日期： 2024-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年04月30日
內(nèi)容摘要

本文件描述了亞納米厚度石墨烯薄膜的霍爾器件樣品制備與載流子遷移率及方塊電阻測(cè)量的原理、設(shè)備、器件制備及測(cè)量過程、計(jì)算方法、不確定度的分析與計(jì)算，以及測(cè)量報(bào)告等。


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