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納米技術(shù) 亞納米厚度石墨烯薄膜載流子遷移率及方塊電阻測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 43682-2024
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 泰州巨納新能源有限公司、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
發(fā)布日期: 2024-03-15
實(shí)施日期: 2024-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2024年04月30日
內(nèi)容摘要

本文件描述了亞納米厚度石墨烯薄膜的霍爾器件樣品制備與載流子遷移率及方塊電阻測量的原理、設(shè)備、器件制備及測量過程、計算方法、不確定度的分析與計算,以及測量報告等。


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