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表面化學分析 掃描探針顯微術 懸臂梁法向彈性常數的測定

標 準 號: GB/T 42543-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 上海交通大學、中國科學院上海應用物理研究所、上海市計量測試技術研究院、納米技術及應用國家工程研究中心
發(fā)布日期: 2023-05-23
實施日期: 2023-09-01
點 擊 數:
更新日期: 2023年12月18日
內容摘要

本文件描述了五種原子力顯微術探針懸臂梁法向彈性常數的測量方法,測量的精度誤差為5%~10%。每個方法分別隸屬于尺寸法、靜態(tài)實驗法和動態(tài)實驗法三類方法中的一種。方法的選擇取決于分析所要達到的目的,便易性及現有的儀器條件。
本文件不適用于高于5%~10%的測量精度,如要獲得高于5%~10%的測量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法進行測量。

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