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本文件描述了五種原子力顯微術探針懸臂梁法向彈性常數的測量方法,測量的精度誤差為5%~10%。每個方法分別隸屬于尺寸法、靜態(tài)實驗法和動態(tài)實驗法三類方法中的一種。方法的選擇取決于分析所要達到的目的,便易性及現有的儀器條件。 本文件不適用于高于5%~10%的測量精度,如要獲得高于5%~10%的測量精度,需要使用本文件未提及的更高精度的方法進行測量。