本文件規(guī)定了六氯乙硅烷的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。
本文件適用于由生產(chǎn)多晶硅副產(chǎn)的六氯乙硅烷經(jīng)純化制備的電子用六氯乙硅烷。
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