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本文件規(guī)定了六氯乙硅烷的技術要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及安全信息的要求。 本文件適用于由生產多晶硅副產的六氯乙硅烷經純化制備的電子用六氯乙硅烷。