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本文件規(guī)定了工業(yè)用氮中硅烷混合氣體的制備方法、試驗方法,確立了檢驗規(guī)則,規(guī)定了混合氣體的技術要求、標志、包裝、儲存及安全信息的要求。 本文件適用于由電子工業(yè)用硅烷和高純氮(或超純氮)為原料制備的混合氣體。