本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動能能量標(biāo)不確定度為3 eV時的校準(zhǔn)方法，用于識別表面常規(guī)元素。另外，本文件還規(guī)定了一種用于確定校準(zhǔn)周期的方法。本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%，微分模式調(diào)制幅度的峰值為 ?2 eV?，配有惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法，具有4 keV或更高束能電子槍的譜儀。