本文件規(guī)定了如何報告X射線光電子能譜的峰擬合及其結(jié)果。本文件適用于單個譜圖或一組相關(guān)譜圖的擬合，例如在深度剖析測試中采集獲得的一組相關(guān)譜圖。本文件提供了一個應(yīng)報告的參數(shù)列表，以實現(xiàn)可重復(fù)的峰擬合或?qū)Χ鄠€譜進(jìn)行擬合與比較。本文件不提供峰擬合的操作說明，也不提供應(yīng)采用的擬合步驟。