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納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

標 準 號： GB/T 20307-2006
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、同濟大學(xué)，中國科學(xué)院化學(xué)所，中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所
發(fā)布日期： 2006-07-19
實施日期： 2007-02-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年01月19日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級長度的基本原則。適用于測量10nm-500nm的點或線的間距。

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