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硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 4058-2009
替代情況： 替代 GB/T 4058-1995
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 峨嵋半導(dǎo)體材料廠
發(fā)布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2019年11月04日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片表面區(qū)在模擬器件氧化工藝中誘生或增強(qiáng)的晶體缺陷的檢測。
硅單晶氧化誘生缺陷的檢驗也可參照此方法。
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