本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了納米氮化硅的牌號(hào)、技術(shù)要求和相關(guān)試驗(yàn)方法以及產(chǎn)品的檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、貯存、運(yùn)輸和質(zhì)量證明書(shū)等要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于氣相合成法生產(chǎn)的納米氮化硅。