本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純氟化銨溶液的分級(jí)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純氟化銨溶液。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業(yè)。