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碳化硅單晶片微管密度的測(cè)定 化學(xué)腐蝕法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 30868-2014
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
發(fā)布日期： 2014-07-24
實(shí)施日期： 2015-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年11月28日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用熔融氫氧化鉀腐蝕法測(cè)定碳化硅單晶微管密度的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于碳化硅單晶微管密度的測(cè)定。

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