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表面化學(xué)分析 輝光放電發(fā)射光譜法分析金屬氧化物膜

標 準 號: GB/T 32996-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 上海市計量測試技術(shù)研究院、華東師范大學(xué)、中國科學(xué)院化學(xué)研究所
發(fā)布日期: 2016-10-13
實施日期: 2017-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年07月26日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了利用輝光放電發(fā)射光譜測定金屬氧化物膜厚度、單位面積質(zhì)量和金屬氧化物膜化學(xué)組成的方法。
本方法適用于測定金屬上厚度為1 nm~10000 nm的氧化物膜,氧化物的金屬元素包括鐵、鉻、鎳、銅、鈦、硅、鉬、鋅、鎂、錳和鋁中的一種或多種。其他可測元素還包括氧、碳、氮、氫、磷和硫。

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