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本標準規(guī)定了利用輝光放電發(fā)射光譜測定金屬氧化物膜厚度、單位面積質(zhì)量和金屬氧化物膜化學組成的方法。 本方法適用于測定金屬上厚度為1 nm~10000 nm的氧化物膜,氧化物的金屬元素包括鐵、鉻、鎳、銅、鈦、硅、鉬、鋅、鎂、錳和鋁中的一種或多種。其他可測元素還包括氧、碳、氮、氫、磷和硫。