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電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 32386-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、廈門鎢業(yè)股份有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司
發(fā)布日期: 2015-12-31
實(shí)施日期: 2016-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年05月12日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化鎢的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)合成法制取并經(jīng)精制純化的六氟化鎢。該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積工藝、鎢材料的制備等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算)。

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