本標準規(guī)定了使用電子探針波譜法進行元素面分析的方法。本標準規(guī)范了移動電子束對試樣掃描的面分析(電子束面分析)和移動試樣臺的面分析(大面積面分析)兩種模式的選擇,給出了五種數(shù)據(jù)處理的方式:原始X射線強度法、K值法、校正曲線法、對比法和基體校正法。