本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延用三氯氫硅(SiHCl3)的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書以及訂貨單 (或合同)內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗三氯氫硅為原料經(jīng)過(guò)提純而制得的硅外延用三氯氫硅(以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品)。