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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了工業(yè)高純氫氟酸的分級、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)高純氫氟酸。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻,以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。