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電子工業(yè)用氣體三氟化氮

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 21287-2007
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 湖北沙隆達(dá)天門農(nóng)化有限責(zé)任公司、中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所、核工業(yè)理化工程研究院特氣中心等
發(fā)布日期: 2007-12-14
實施日期: 2008-07-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2013年09月18日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標(biāo)志、運輸、儲存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學(xué)氣相沉積的清洗劑。
 

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