本標準規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。
本標準適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學氣相沉積的清洗劑。
花生黃曲霉毒素檢測抽樣技術(shù)規(guī)程頁巖氣 地震資料處理解釋和預測要求頁巖氣 氣井試氣作業(yè)規(guī)范地熱鉆井鉆頭使用基本規(guī)則和磨損評定…地熱廢棄井及長停井處置規(guī)范頁巖氣 頁巖損失氣量的計算方法地熱測井資料處理解釋規(guī)程水熱型地熱尾水回灌技術(shù)規(guī)程
常用化學危險品貯存通則【作廢】工業(yè)管道的基本識別色、識別符號和安…氣瓶顏色標志【作廢】危險化學品從業(yè)單位安全標準化通用規(guī)范常用危險化學品的分類及標志【作廢】紡織工業(yè)企業(yè)安全管理規(guī)范化工企業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定【作廢】危險化學品貯存通則
