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電子工業(yè)用氣體 氫

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 16942-2009
替代情況: 替代 GB/T 16942-1997
發(fā)布單位: 國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院
發(fā)布日期: 2009-10-30
實(shí)施日期: 2010-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2010年11月09日
內(nèi)容摘要

    本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
    本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

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