本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。
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