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電子工業(yè)用氣體 氨

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 14601-2009
替代情況: 替代 GB/T 14601-1993
發(fā)布單位: 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計院
發(fā)布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2010年11月09日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氨的技術(shù)要求,試驗方法,檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運輸、貯存及安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè),氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。

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