本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了單晶硅生長用石英坩堝的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于用高純石英砂做原料，采用電弧法工藝生產(chǎn)，應(yīng)用于直拉法生長單晶硅材料的石英坩堝。