本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光刻用石英玻璃晶圓（以下簡稱石英玻璃晶圓)的術(shù)語和定義、分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管（LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。