本標準規(guī)定了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS)測定電子級多晶硅中痕量基體金屬雜質(zhì)含量的方法。
本標準適用于GB/T 12963中在基體金屬雜質(zhì)小于5 ng/g范圍內(nèi)鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉含量的測定。